扩散氢是指以原子或质子形式存在于金属晶格中，能在晶格间自由扩散的氢。而残余氢则是以分子态聚集于金属的晶格缺陷、微裂纹或非金属夹杂物的边界空隙，因半径稍大而无法自由扩散的氢。固溶氢则指溶解于焊缝金属中的氢。
扩散氢分析仪采用气相色谱热导检测法，可对熔敷金属中扩散氢含量进行准确的测定。适用于焊条厂、密闭容器生产厂、焊接行业（焊接手段可采取手工电弧焊、埋弧焊、气体保护焊）、检测研究所等行业。在化工、航天、冶金、汽车、地矿、建筑等行业领域广泛应用与使用。仪器分析分析快速、灵活、精度高，测定范围宽，在高氢测定范围和超低氢测定范围都具有良好的精度和准确度。 扩散氢分析仪应用气相色谱原理进行熔敷金属中扩散氢的测定。将欲测定的试样放入到试样器内密封、按一定温度、一定时间进行脱气。从试样脱离的氢气被捕集到试样器内、将此捕集气体导入到气相色谱仪、呈测定氢气结构。此时，即使从试样中出来氢气以外的气体，通过气相色谱仪以氢气以外的气体被测定，仅试样中的扩散氢被准确测定。
扩散氢分析仪测得氢诱发裂纹的因素：焊缝焊接完毕后，焊缝中的氢绝大部分以扩散氢形式存在，随时间推移，部分扩散氢会逸出到大气气或扩散到热影响区，使焊缝总含氢量减少。但部分扩散氢会转变为残余氢，这部分扩散到各类缝隙及缺陷(尤其是未焊透未熔台等二维缺陷)中的氢，是诱发延迟裂纹的重要原因。
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